技术参数

1.線性精度: U1=3+L/200um 。

2.重複精度: 3um。

3.外觀尺寸: 670 x660 x950 mm。

4.测量景深：150mm/30mm.

5.机台定位精度：±0.002mm.

6.量測行程: 200*100*300mm (X,Y)。

产品特点

本机采用高精度光栅尺。高速非接触操作，可证

零摩擦和零机器磨损，开放式光学设计保证了高性能，

周期误差通常上于±0.25um，线性误差特性为每

60mm±1um.